MIKRO-POSITIONIERUNG
ANFORDERUNGEN
- Aktorentwicklung (X,Y,Z – Achse)
- Genauigkeit <1µm
- Hohe Stellgeschwindigkeiten
- Hohe Robustheit
- Hohe Steifigkeit
- Sensorintegration
LÖSUNGEN
- Spindelpositionierung bei WZM
- Hochgenaue Zylinderpostionierung
- Kalibriereinrichtungen
