MIKRO-POSITIONIERUNG

ANFORDERUNGEN
  • Aktorentwicklung (X,Y,Z – Achse)
  • Genauigkeit <1µm
  • Hohe Stellgeschwindigkeiten
  • Hohe Robustheit
  • Hohe Steifigkeit
  • Sensorintegration
LÖSUNGEN
  • Spindelpositionierung bei WZM
  • Hochgenaue Zylinderpostionierung
  • Kalibriereinrichtungen
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